激光干涉儀可作為精密工具機的校正工作
點擊次數：828次 更新時間：2022-03-02
激光干涉儀以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量，干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。
干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
激光干涉儀的應用：
1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。
2、位置精度的檢測及其自動補償可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用干涉儀不僅能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差。
3、數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償，利用干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。
4、雙軸定位精度的檢測及其自動補償干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床，由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。
5、數控機床動態性能檢測利用RENISHAW動態特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態特性分析，伺服驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性（低速爬行）分析等。
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